2005年11月29日,一封“对863计划——‘基于MEMS技术的天然气流量计实用化研究’项目申报负责人与申报材料的检举报告”从杭州市寄往科技部办公厅、监察局以及“863”计划监督委员会。该报告还同时递交浙江大学纪检部门。
这封由杭州中矽微电子机械技术有限公司发出的检举报告称:国家863计划——“基于MEMS技术的天然气流量计实用化研究”项目负责人傅新、徐兵剽窃举报人公司的MEMS流量传感器的测试数据及样片作为863计划申报材料,并作为其863项目验收以获得通过的关键性“研究成果”。
据该报告描述:2005年9月19日国家863计划网站上正式公布“基于MEMS技术的天然气流量计实用化研究”课题通过验收。
该课题验收通过的结论是——该课题成功研制了精度高、流阻小、量程宽的TMF热式流量计系列产品,产品应用前景广阔。在课题实施过程中,重点研究解决了硅膜与基体材料之间的高效绝热薄膜层材料和加工工艺,以及传感器表面抗腐蚀、耐磨损、低粘附性封装材料及封装工艺;适用于天然气计量的热式流量计供电模式、静压误差补偿、温度漂移、表面粘滞效应等关键技术及工艺问题;研制出热惯性低、频响高的芯片级传感器和高精度、大量程、低功耗的热式流量计产品。
该结论中对传感器重点研究解决的问题及所谓关键“研究成果”的描述(黑体部分)都为本公司拥有自主知识产权的产品——MEMS流量传感器已经具有的基本特性(以发明专利证书及资料为证)。
“本公司认为,该项目课题负责人剽窃本公司的MEMS流量传感器作为验收通过的内容,是弄虚作假的行为,与863计划鼓励创新的宗旨不符,也是侵犯我公司利益的行为。”
是合作还是预谋?
被举报人傅新是浙江大学教授、博士生导师,是浙大“流体传动及控制国家重点实验室”主任;徐兵是浙江大学副教授,该实验室研究人员,是863计划——基于MEMS技术的天然气流量计实用化研究项目的申报人。虽然徐兵是该项目的申报人,可杭州中矽微电子机械技术有限公司(以下简称中矽微公司)执行董事朱立却认定作为学科带头人的傅新是最主要的剽窃者。
杭州中矽微公司是中国宝龙电子集团的子公司。宝龙集团是浙江省的高新技术企业。2004年初,宝龙集团的合作者——涂相征教授负责的MEMS研发小组在美国硅谷成功做出第一片传感器芯片。集团随即于2004年6月设立杭州中矽微电子机械技术有限公司(以下简称中矽微公司)来进行MEMS产品的开发生产。
涂相征从1984年就从事MEMS领域的研究,先后在清华大学微电子研究所、美国和台湾地区等著名的MEMS研究开发机构和生产厂商担任顾问。他在MEMS技术上已经取得美国发明专利15项,中国发明专利16项。中矽微公司成立后,涂教授所有与本项目有关的专利均已转入中矽公司。
毕业于清华大学,又从美国硅谷回来的毛巨林是中矽微公司的总经理。他了解到傅新教授所在的国家重点实验室在流体传动领域有较大影响力,谈好与其合作开发基于MEMS技术的气体流量计。涂相征教授也专程到该实验室进行了考察。2004年7月3日傅新以个人身份与杭州中矽微公司签订了“技术合作开发意向书”,核心内容是:(1)中矽微向傅新课题组提供芯片,用于试验研究和开发工业级的气体质量流量计。(2)傅新课题组向中矽微提供试验结果和流量计相关技术。(3)中矽微拥有质量流量传感器芯片和相关技术的知识产权,中矽微和傅新课题组共同拥有流量计的知识产权。(4)中矽微保证在工业级流量计取得经济效益时,按一定比例与傅新课题组分享。
由此,双方开始使用中矽微提供的传感器芯片进行试验研究。毛巨林说,测试结果表明由中矽微提供的芯片性能明显优于傅新课题组所调研了解的国内外同类芯片。随后,傅新课题组安排了以谢海波博士为主的研究小组,专门开展针对该芯片应用到流量仪表上的二次电路模块研究。中矽微按试验的需要提供了35只芯片给傅新课题组。
2004年浙江省科技厅组织6位专家(包括傅新)对中矽微公司的MEMS热式流量传感器进行鉴定。专家组一致认为:该项技术处于国内领先水平。一直到2005年9月,中矽微方面认为双方的合作是顺利的。
朱立和毛巨林在静静的等待着傅新课题组的实用化研究成果。2005年10月8日,国庆长假后上班的第一天,中矽微公司的技术人员突然从科技部官方网站上看到了那则消息。朱、毛二人仔细研究该验收鉴定结论后认为:该项目取得成果的重点似乎不是流量计实用化上做的工作,而是研制成功了MEMS热式流量传感器芯片,其技术特点和指标和中矽微公司提供给傅新课题组的芯片完全相同。这个项目从标题上看是“×××流量计实用化研究”,如果不留意项目的重大成果内容,还不易发现其核心成果是从中矽微公司的核心技术中移花接木过来!
朱立极其强烈的反应是:我们被傅新耍了!