近日,作为我国新型材料领域的重大突破,被列入国家“863计划”的重点科技攻关项目———中国第一个半导体工业用溅射靶材生产基地在宁波余姚正式投产,承担“超大规模集成电路制造用铝和钽溅射靶材产业化关键材料技术研究”课题的是注册资本达1288万美元的宁波江丰电子材料有限公司。随着第一块国产半导体工业用溅射靶材的下线,标志着我国成为继美国、日本之后,全球第三个具备溅射靶材生产能力的国家,打破了我国半导体材料长期依赖进口的局面。
半导体工业是各国高科技产业中的核心,其发展水平直接体现一个国家的科技水平,同时也是西方国家技术封锁的重中之重,而靶材是半导体生产工艺中不可缺少的消耗材料,可广泛应用于电子、信息等前端产业。我国虽有丰富的原材料,但由于此前全球只有美国、日本两国具备溅射靶材的生产能力,技术及市场一直被跨国公司垄断,因此大量宝贵的原材料低价被外国收购,他们制成终端产品后再以数十倍的价格供应给我国,造成资源和资金的大量浪费。去年,经清华大学牵头,宁波江丰电子材料有限公司与三位有志于这一领域的海外归来博士共同承担实施了溅射靶材项目,并很快被列入国家“863计划”,从立项到投产,仅用了8个月时间。这一项目的正式投产,对建立完整的半导体产业链,促进国内传统产业改造提升,发展高新技术具有十分重要的意义。