浙江大学上虞半导体材料研究中心打造半导体材料“金名片”

浙江在线11月21日讯（记者 陈卓妤）11月初，国家自然科学基金委员会“后摩尔时代新器件基础研究”重大研究计划2025年度项目交流与工作会议在绍兴市上虞区举行。这是浙江大学上虞半导体材料研究中心（下简称“中心”）承办的第5场半导体材料领域全国性高层次学术会议。截至目前，中心已累计吸引超700人次来到上虞参会，其中两院院士逾10人次、国家高层次人才超100人次，汇聚全国35家科研院所、半导体企业及超300人次领域优秀学者，为上虞半导体产业注入智力动力。

浙江大学上虞半导体材料研究中心杭州湾基地　浙江大学上虞半导体材料研究中心提供

作为上虞区政府与浙江大学共建的新型研发机构，中心依托浙江大学硅及先进半导体材料全国重点实验室（下简称“浙大硅全重”），由中国科学院院士、浙江大学教授、浙大硅全重实验室主任杨德仁领衔创办。自2023年7月启动建设以来，中心已建成浙大硅全重校外基地，联合浙江晶盛机电股份有限公司共建全省重点实验室，申获省级博士后工作站、浙江省自然科学基金依托单位及绍兴市新型研发机构，正稳步打造省、市独具硅及先进半导体材料特色的新型研发机构。

从产业基础来看，先进材料是上虞区重点打造的四大战略主导产业之一，上虞已在金属新材料、先进高分子材料、半导体材料三大领域确立领先优势。其中，半导体材料产业虽起步较晚但发展迅猛，目前已形成以晶盛机电为链主、中欣晶圆与安测半导体为骨干的产业链，但仍面临微电子级大尺寸硅单晶材料与装备领域“卡脖子”问题，亟需产学研协同突破技术瓶颈。

半导体光电探测研究所所长方彦俊教授与研发团队研讨测试结果　浙江大学上虞半导体材料研究中心提供

为精准破解这一产业痛点，中心立足上虞高端装备与新材料产业基础，深度融合浙江大学科技与人才资源，锚定国家战略需求组建高层次科创队伍，并创新构建“1+3”半导体材料产业应用技术发展架构。其中，其中，“1”即先进半导体材料分析和工程服务中心；“3”则是单晶产业技术研发基地、新型钙钛矿材料和器件中试基地、先进半导体材料和装备概念验证中心三大产业技术研发集群，为行业提供机制理解与研发工具，推动关键技术达到国际先进水平、实现国产替代并填补国内空白，助力上虞构建半导体材料产业新生态。

“我们不追求‘大而全’，而是聚焦‘小而美’，围绕上虞产业需求与国家战略，采取‘两条腿走路’的发展模式。”中心常务副主任陈涛博士介绍，一方面紧扣上虞产业需求开展合作研发，针对企业技术瓶颈提供定制化解决方案，助力现有半导体产业创新升级；另一方面深挖浙江大学科研优势，引入成熟且具产业化潜力的科研成果，加速其从“实验室”走向“生产线”，推动产业新生态快速打造。

研发团队正在试制钙钛矿材料和器件　浙江大学上虞半导体材料研究中心提供

“企业需要什么，我们就研发什么。”陈涛介绍，与晶盛机电的合作正是“服务地方产业”的典型实践。浙江大学组建15人研发团队（博士占比50%）进驻企业联合研发，双方合作的“集成电路用大尺寸硅单晶生长与加工技术研发项目”，既精准对接先进制程集成电路硅片国家战略需求，又深度服务地方产业升级，已成功开发晶体生长和加工等相关分析模型。双方还在联合推进新型半导体材料工艺验证，持续突破产业技术瓶颈。

陈涛表示，上虞良好的化工产业基础为半导体产业配套与产业链拓展提供了有利条件，进一步推动产业新生态加速成形。中心已有多项科创项目完成产品和工艺验证并进入商业转化阶段。其中，浙江大学方彦俊教授牵头的“硅基钙钛矿X射线探测器”项目正在推进新公司注册；薛晶晶教授牵头的“钙钛矿太阳能电池的循环再生”项目计划于年底前完成商业注册。随着杭州湾联合创新中心内约9000平方米的基地10月正式启用，中心发展迎来新契机——新增的5项科创产业化项目将陆续完成评估审定，部分项目最快将于明年推向市场。值得一提的是，5个在孵项目的负责人大多数为浙江大学校友，充分彰显了校地合作对人才的强大吸引力与凝聚力。

据介绍，中心将立足绍兴打造集成电路千亿级产业集群、上虞打造先进材料发展新高地的战略目标，以打造上虞半导体材料“金名片”为核心使命，持续深化校地协同创新——既依托浙江大学“一圈一网一高地”持续发展战略导入高端人才与创新资源，推动项目产业化；聚焦上虞现有产业链痛点，突破更多“卡脖子”技术；同时以杭州湾联合创新中心新基地为载体，吸引更多浙大毕业生扎根上虞，形成“人才引育-技术研发-成果转化-企业赋能”的闭环，全力推动上虞成为“全国硅及先进半导体材料研发应用平台新坐标”。