温州首家晶圆厂投产

　　浙江在线12月25日讯（记者 张银燕 共享联盟·龙湾 余平）24日上午，在经过3个月的生产产线设备调试后，温州首家晶圆厂——浙江星曜半导体有限公司的5G射频滤波器芯片晶圆产线项目迎来投产，预计2025年2月实现产品交付客户。这意味着，成立仅4年的星曜半导体公司，已逐步形成一条从芯片设计研发、晶圆制造、封装测试到销售的全产业链条，填补温州集成电路产业链制造领域的空白。

　　芯片由晶圆分割而成，晶圆是芯片生产的载体。浙江星曜半导体有限公司于2020年落户温州湾新区、龙湾区，经过4年发展，公司已拥有120多人的顶尖研发团队，研发出100多款高性能滤波器芯片和10多种射频模组芯片，终端客户覆盖国内外众多品牌的通讯设备公司。为实现射频滤波器芯片从自主设计到自主生产，去年4月，由星曜半导体公司投资的5G射频滤波器芯片晶圆产线项目继续签约落户温州湾新区、龙湾区。“项目总投资7.5亿元，主要用于高性能射频滤波器芯片的生产制造和封装测试等。投产后，预计能年产12万片高性能射频滤波器晶圆片，大大增强企业的芯片供应能力，同时也能大幅度提升产品开发速度。”企业负责人高安明告诉记者。

　　当天上午，走进项目主厂房参观通道，记者在现场看到，光刻机、蒸镀机、刻蚀机等各种加工、检测和测试设备有序摆放，整个操作车间一尘不染，工作人员身穿无尘洁净服进行操作。“可以在温州生产第一批芯片产品了。”晶圆产线项目负责人邱金荣难掩内心激动。

　　晶圆产线项目占地4万平方米，包括晶圆制造中心、封装测试、生产辅助和废气废液纯水动力处理中心等配套设施。“从2023年10月9日拿到施工许可证，到今年4月18日主体结构封顶，一共用了6个多月，再到9月18日首台设备搬入、11月20日产线调通、今天正式投产，最大感受就是‘快’。”邱金荣表示，这既是“星曜速度”，也是“温州湾新区速度”。自项目签约开始，当地便组建项目专班，针对企业提出的个性化需求，几乎有求必应。

　　不同于普通工业企业，晶圆厂由于涉及大量精密操作，对于电压稳定性与可靠性要求极高。“任何微小的电力波动，都可能对产品质量造成严重影响，甚至导致整条生产线停滞。”邱金荣说，一旦设备停机，修复或重启至少需要一周时间。为此，当地联动国网温州供电公司，抽调电力业务骨干多次研究，为项目量身定制一套双电源接入的方案。今年11月底，该项目完成双电源接入，对顺利投产的带动作用明显。

　　该项目快速投产，是重大项目在温州市加速奔跑的生动缩影。今年以来，温州全力以赴优化营商环境，为重大项目提供优质、便捷、高效的“全生命周期服务”，推动项目投资放量、投产达效，为高质量发展注入强劲动能。据统计，1月至11月，温州完成制造业投资607.11亿元、同比增长13.2%；全市超亿元制造业项目竣工数达99个，较上年同期多9个。