甬江实验室“上新” 宁波首个高能级微纳平台研发线投用

　　昨日，宁波首个高能级微纳平台——甬江实验室信息材料与微纳器件制备平台研发线正式投用。这是甬江实验室迄今为止投入最大的平台，致力打造成支撑前沿科技创新、引领微纳制造共性技术、链接并赋能产研生态的开放共享科创服务平台。

　　“先进封装已成为全球半导体产业超越摩尔定律、进一步提升芯片性能的主要手段，而高能级微纳平台正是实现这一技术不可或缺的基础支撑。”该平台负责人钟飞介绍。

　　据悉，该平台拥有一流的基础设施、先进的制程工艺，现已建成6英寸研发线和8英寸验证线各一条，配备了165台(套)高端精密设备。此次投用的是6英寸研发线，8英寸验证线有望在2025年投用。

　　据悉，半导体设备成本高昂，企业若进行重资产投入，一旦研发失败将遭受重大损失。“平台将通过设备开放共享，降低企业的投入成本。”钟飞介绍，同时，该平台建立了完善的标准化工艺库，可满足不同芯片的研发需求，并开放给企业使用。

　　将“链路”拉长，该平台有更大的追求——选择有产业化前景的共性核心技术，与高校、企业联合开发，共同完成从理论到技术研究、从技术研究到样品生产、最终实现量产。

　　“力争到2031年，建成有影响力的泛半导体领域全链条研发与验证平台。”钟飞道出了微纳平台的未来发展目标。