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国产靶材余姚下线 我国成为第三个生产靶材国家

www.zjol.com.cn  2005年12月14日 08:54:41  浙江在线新闻网站

  12月9日,宁波江丰电子材料有限公司在余姚正式投产,他们生产的第一块国产半导体工业用溅射靶材也于当天下线,并通过了质量检验。这块靶材的下线标志着中国成为继美国、日本之后,第三个能生产靶材的国家,打破了国外对半导体原材料的垄断局面。

  靶材是生产芯片必不可少的原材料,此前中国所需靶材全部依赖进口。靶材生产技术是长期制约中国芯片生产的一个瓶颈。江丰公司承担的“超大规模集成电路制造用铝和钽溅射靶材产业化关键材料技术研究”课题,是2005年度国家863计划引导项目。

  靶材的下线也标志着这一项目的研究取得了突破性成功。江丰公司于今年4月在浙江余姚成立,公司在3名“海归”博士的主持下,加快研究与生产步伐,今年10月即投入了小批量靶材样品生产。


来源: 浙江在线-浙江日报  作者: 龚宁 叶初江  编辑: 周若耶

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