从光刻到封装，这家浙企如何为芯片制造打造“隐形工程师”

　　浙江在线5月8日讯（记者 廖君琳）手机突然死机、车载智能系统失灵，这些看似偶然的故障，背后可能藏着同一个原因——芯片内部残留的微小杂质。

从光刻到清洗，从刻蚀到封装，在芯片制造的精密工序中，电子化学品是贯穿其中、不可或缺的“隐形工程师”，它的“兢兢业业”与芯片最终的稳定运行密切相关。

在浙江衢州，奥首材料科技有限公司（以下简称“奥首”）正是致力于电子化学品的研发与生产，其产品覆盖光刻胶清洗液、电镀液、界面保护材料等多种电子化学品。

走进奥首的研发中心，科研人员正在实验室里忙碌。这家国家专精特新“小巨人”企业，正以“材料+工艺+服务”的模式，走出一条功能电子化学品的国产替代之路。

　　核心产品 卡位关键环节

　　芯片制造从硅片开始，经过光刻、刻蚀、清洗、沉积等多道工序，最终形成复杂的电路结构。奥首的三款核心产品，正是按照芯片生产全流程布局的。

　　在芯片制造中，光刻是最核心的环节之一。简单来说，光刻就像在硅片上“画电路”——涂上光刻胶，用光透过掩模版照射，被照到的胶发生化学变化，经过显影，电路图形就留在了硅片上。画完之后，残留的光刻胶必须用清洗液彻底清洗，才能进行下一道工序。

　　清洗液的研发难点在哪里？奥首材料科技有限公司科研博士吕晶解释，不同制程节点对应的芯片结构不同，清洗液既要能洗干净残留的光刻胶，又要兼容客户现有的设备工艺，还不能破坏芯片内部各种金属互联材料。“现在芯片结构越来越复杂，金属互联的种类越来越多，既要洗干净胶，又要保护金属材料不被腐蚀，这是一个兼容性的难题。”

　　制程越小，芯片结构越复杂，对清洗液的兼容性挑战就越突出。因为残留在金属表面的离子和颗粒，可能导致芯片在使用过程中逐渐失效。“手机突然死机，车载智能系统失灵，都可能源于此。”吕晶说。奥首的光刻胶清洗液，正是为不同技术节点量身定制的解决方案。

奥首材料研发中心实验室 记者 廖君琳 摄

　　再看电镀液。芯片内部一层层的金属互联结构，就是通过电镀工艺，让铜离子在纳米级的孔洞中自下而上“生长”出来，形成导电通路。从手机处理器到AI加速芯片，几乎所有以铜作为互联金属的芯片，都离不开它。

　　“电镀液会留在芯片里，成为芯片的一部分。”吕晶解释。正因如此，电镀液的可靠性要求远高于一般产品，一旦有质量问题，芯片就是废品，无法返工。

　　而当下火热的HBM（高带宽内存）芯片领域，奥首的一款“界面保护材料”正在扮演关键角色。

　　HBM芯片被视为突破制程物理极限的重要路径。当7纳米以下线宽难以继续微缩，行业开始将不同功能的芯片封装在一起，实现“1+1＞2”的效果。这种先进封装工艺对材料提出了严苛要求：在切割复杂结构的大芯片之前，需要涂一层保护层，防止切割碎屑溅落导致芯片失效。

　　“芯片表面结构复杂，有高有低，保护层既要均匀覆盖，不能在高处漏掉，也不能在低处积得太厚。”吕晶说。奥首的界面保护材料，正是在这一环节实现了国产替代。目前，该产品已应用于国内先进封装产线。

　　材料＋工艺＋服务 融入浙江产业生态

　　奥首的竞争力，不止体现在产品上。

　　“我们的产品研发出来，配方达标只是第一步。”吕晶说。电子化学品的性能，很大程度上取决于生产工艺——设备怎么设计、环境怎么控制、过滤工艺如何实现，这些直接决定了产品的金属离子和颗粒杂质能否达到半导体级要求。

　　为此，奥首与国内设备厂商合作，根据产品特性定制生产线。而在服务端，公司的技术团队会深入客户产线，协助调整应用参数。“客户擅长设备与制造，我们需要告诉他们，我们的材料适合什么样的转速、什么样的喷涂量。”这种深度互动，不仅让产品更好用，也带动了上下游协同发展。

奥首的系列产品 受访者供图

　　成立于2014年的奥首，经过十余年的技术积累，在芯片光刻胶及配套材料、功能电子化学品、芯片封装材料、芯片电镀液、纳米材料和芯片清洗蚀刻液等领域，已经拥有了近百种具有自主知识产权的产品，申请发明专利两百余项。其发展，与浙江的产业生态密不可分。

早在2017年，浙江省政府就出台《关于加快集成电路产业发展的实施意见》，明确提出推动衢州以电子化学品研发与产业化为突破口，打造国内领先的集成电路材料及电子化学品产业基地。这一省级战略为奥首的发展指明了方向。

2022年，奥首在衢州启动建设研发生产基地。该项目当年被评为浙江省十大“省长工程”重点项目之一，在土地、资金，等方面获得政策倾斜。选择衢州，既有产业聚集的考量，也得益于当地政府的大力支持。衢州围绕集成电路产业，加速构建“材料—芯片设计—晶圆制造—关键设备”的全链条发展格局。

　　成立至今，奥首凭借在半导体电子化学品领域的持续突破，已经从一家初创企业成长为国家级专精特新“小巨人”。“国外在这个领域领先我们几十年，我们要做的，就是把国产替代化率低、甚至为0的材料，一点点啃下来。”吕晶表示。

　　在芯片制造这个高精度的领域，每一滴化学试剂的纯度和精度，都决定着最终产品的成败。而像奥首这样的企业，正在用一个个材料突破，为“中国芯”注入更多自主血液。