科创梦想在产业苗圃茁壮生长

　　浙江在线6月2日讯（记者 陈醉 通讯员 高嘉鸣）5月31日晚10时，宁波阳明工业技术研究院内，一束束顶灯在车间里投下光柱。

　　宁波江丰芯创科技有限公司副总经理、40岁的汪涛攥着一块银色金属圆盘，眉头紧锁。这是半导体设备核心部件“气体分配盘”的最新样品，盘面边缘那0.1毫米的“漏铝”缺陷，亟待攻克。

宁波江丰芯创科技有限公司工作人员正在检查产品的外观。 通讯员 黄引驰 记者 陈醉 摄

　　“时间紧，新样品端午假期后就要交付。今晚，问题必须归零！”汪涛转身对产品工程师、00后韩雪洁比划改进方案。

　　话音刚落，团队6名成员立刻围拢过来，键盘敲击声、图纸翻动声与讨论声交织，思维的火花肆意碰撞，争分夺秒的紧张感弥漫整个车间。

　　气体分配盘，名字听起来冰冷，却是芯片制造链上名副其实的“咽喉要道”，用来为晶圆喷洒绝缘层。汪涛指着手中的样品解释：“其精细度之高，好比在指甲盖上雕刻数百个直径仅0.7毫米的喷孔，且误差不能超过5微米。”

　　为攻克这项“卡脖子”技术，4年前，作为国内半导体龙头企业江丰电子技术员的他，带着成员平均年龄不到35岁的研发团队，进驻宁波阳明工业技术研究院，目标清晰且宏大：将技术突破转化为实实在在的产品、产业，补齐在这一关键领域的短板。

　　在彼时的汪涛看来，阳明工研院宛如一座“产业苗圃”，孕育着无数的科创梦想。

　　“最初，我们连基础图纸都没有，第一次测试时，气流像失控的花洒，晶圆涂层厚薄不一。”汪涛回忆起创业初期的窘境。这个由宁波、余姚两级政府支持，并由龙头企业江丰电子牵头组建的民营科技研发机构，很快便为他们量身定制了“共享研发包”：2000平方米的洁净车间、价值上亿元的检测设备，以及由10余个院所专家组成的“外脑”智库……正是在这样的专业支持下，汪涛的团队跨过了需要数亿元投入的研发门槛。

　　“我再去测一次表面颗粒物残留。”说话间，韩雪洁已抓起样品，匆匆穿过走廊，奔向园区另一端的共享检测中心。

　　在这个100多平方米的百级无尘室里，一台液体颗粒仪的激光扫过样品表面，实时生成的三维拓扑图上，纳米级颗粒物残留无所遁形。韩雪洁案头堆积如山的检测报告，默默记录着她与这台检测设备为伴的无数个日夜。

　　“初创企业哪有钱自建这样的实验室？这里只收成本费，还配有专业操作员。”韩雪洁指着屏幕上跳动的数据，“看！平面误差已从15微米压到10微米内，孔径误差范围缩小5微米——每一次精度跃升，都是上千次温度、浓度、洁净度全方位较量的结果。‘全链条护航’让我们平均研发周期缩短了40%。”

　　“去年，我们的产品需求翻番，大量上市，赚钱了，也终于买下近万平方米自有厂房。”此刻，韩雪洁就站在崭新的生产线前，投入新难题的攻克中，难掩激动：“真切体会到工研院这个‘助推火箭’的威力。”

　　在阳明工研院15万平方米的空间里，这样的创新脉动此起彼伏——

　　走廊另一侧的同创普润车间里，超高纯铝提纯设备正发出嗡鸣；楼下芯丰精密的工程师，正在调试全球领先的微米级减薄装备；润平电子攻克12英寸先进制程CMP（化学机械抛光）抛光垫，精度超越同类产品50%……

　　最新数据显示，已有18支创业团队在阳明工研院成长，其中17家已成长为规上企业、6家成为国家级高新技术企业。2024年，这些企业总产值突破20亿元，成为所在细分领域的领跑者。

　　“厂房租金？建新厂投入多少？”可当“汪涛”们被问及这些创业细节时，却笑着摆手：“这些园区财务团队都帮我们搞定了。”

　　这背后是阳明工研院独创的“26321”服务模式，即在建立“产业园区”和“产业基金”两个平台下，设立六大共享中心承接人力、财务、投融资、建设规划等职能，聚焦产品研发、产品交付、产品销售铁三角，“创新”和“产业化”两个战略支点，培养人才团队一个核心，最终实现高质量发展的目标。

　　“管理能力与研发能力是两种基因，能否实现这惊险一跳，决定了创业者的不同前途。”这一夜，阳明工研院执行院长崔鋆也密切关注汪涛团队的进展，以全院之力助力。“我们最核心的产品，从来不是某块芯片或某项技术，而是能持续造芯的企业和企业家。”他的话，也道出了这一科创平台的核心价值。

　　崔鋆给出两个振奋人心的数字：“今年，为园区企业产值复合增长率达到40%、新增专利400项以上的目标奋力拼搏，而当下，正是冲锋期。”

　　1日凌晨1时30分，改进方案终于敲定。汪涛揉了揉发红的眼睛：“有工研院托底，我们只管向前冲。”